Исследование пленок нитрида алюминия, полученного плазмоактивированным осаждением, методами масс-спектрометрии и оже-спектроскопии

14 сентября 2018
305
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации К.И. Сидоров, В.А. Тарала, А.С. Алтахов 355029, г. Ставрополь, пр. Кулакова 2, корпус 10, ауд. 213. Директор центра коллективного пользования – кандидат физико-математических наук, доцент Лисицын Сергей Викторович, тел. раб.: 7 (8652) 33-06-84, сот.: 7
Ссылка на публикацию в интернете

Аннотация

Сборник научных трудов IV международной научно-практической конференции «Актуальные проблемы современной науки», выпуск 4, том II. Алушта, 2015. С. 402-407.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.