Исследование пленок нитрида алюминия, полученного плазмоактивированным осаждением, методами масс-спектрометрии и оже-спектроскопии
14 сентября 2018
497
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | К.И. Сидоров, В.А. Тарала, А.С. Алтахов 355029, г. Ставрополь, пр. Кулакова 2, корпус 10, ауд. 213. Директор центра коллективного пользования – кандидат физико-математических наук, доцент Лисицын Сергей Викторович, тел. раб.: 7 (8652) 33-06-84, сот.: 7 |
| Ссылка на публикацию в интернете | — |
Аннотация
Сборник научных трудов IV международной научно-практической конференции «Актуальные проблемы современной науки», выпуск 4, том II. Алушта, 2015. С. 402-407.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.