ИССЛЕДОВАНИЕ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ МЯГКОГО РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ЛАЗЕРНОЙ ПЛАЗМЫ С ПОВЕРХНОСТЬЮ РАЗЛИЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ
14 сентября 2018
222
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | АНАНЬИН ОЛЕГ БОРИСОВИЧ1, БОГДАНОВ ГЛЕБ СЕРГЕЕВИЧ1, ГЕРАСИМОВ ИВАН АЛЕКСАНДРОВИЧ1, МЕЛЕХОВ АНДРЕЙ ПЕТРОВИЧ1, НОВИКОВ ИГОРЬ КИМОВИЧ1, РАМАКОТИ РАВИ ШРИРАДЖА |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=21218057 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. ФИЗИКА
Издательство: Национальный исследовательский Томский государственный университет (Томск)
ISSN: 0021-3411
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
МЯГКИЙ РЕНТГЕН, SOFT X-RAY, ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ С ПОВЕРХНОСТЬЮ, INTERACTION OF RADIATION WITH SURFACE, ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ, CLEANING OF SURFACE
АННОТАЦИЯ:
Проведены исследования воздействия на поверхность металла (медь), полупроводника (кремний) и полимера (CR-39) мягкого рентгеновского излучения (МРИ) лазерной плазмы при плотности потока 10 5 Вт/см 2. Установлено, что при воздействии МРИ такой интенсивности в условиях вакуума порядка 10 -5 Торр на поверхность различных материалов выходят ионы пленки остаточных газов (Н , Н 2 , О , СН 4 и т.д.) с энергией порядка 100 эВ. Совокупность результатов экспериментов для разных типов материалов показывает, что наиболее вероятно энергия ионов определяется действием поля, образованного электронами, вышедшими с поверхности.
ПодробнееИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. ФИЗИКА
Издательство: Национальный исследовательский Томский государственный университет (Томск)
ISSN: 0021-3411
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
МЯГКИЙ РЕНТГЕН, SOFT X-RAY, ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ИЗЛУЧЕНИЯ С ПОВЕРХНОСТЬЮ, INTERACTION OF RADIATION WITH SURFACE, ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТИ, CLEANING OF SURFACE
АННОТАЦИЯ:
Проведены исследования воздействия на поверхность металла (медь), полупроводника (кремний) и полимера (CR-39) мягкого рентгеновского излучения (МРИ) лазерной плазмы при плотности потока 10 5 Вт/см 2. Установлено, что при воздействии МРИ такой интенсивности в условиях вакуума порядка 10 -5 Торр на поверхность различных материалов выходят ионы пленки остаточных газов (Н , Н 2 , О , СН 4 и т.д.) с энергией порядка 100 эВ. Совокупность результатов экспериментов для разных типов материалов показывает, что наиболее вероятно энергия ионов определяется действием поля, образованного электронами, вышедшими с поверхности.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.