ВОЗМОЖНОСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ ОБЪЕМНОГО САМОСТОЯТЕЛЬНОГО РАЗРЯДА В СМЕСЯХ SIF 4─Н 2 ДЛЯ СИНТЕЗА ФТОРСИЛАНОВ
14 сентября 2018
245
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | АКСИНИН ВЛАДИМИР ИВАНОВИЧ1, КАЗАНЦЕВ СЕРГЕЙ ЮРЬЕВИЧ1, КОНОНОВ ИГОРЬ ГРИГОРЬЕВИЧ1, КУДРЯВЦЕВ ЕВГЕНИЙ МИХАЙЛОВИЧ2, ОРЛОВ АНДРЕЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ3, ПОДЛЕСНЫХ СЕРГЕЙ ВЛАДИМИРОВИЧ1, ФИРСОВ КОНСТАНТИН НИКОЛАЕВИЧ1, ХОРОЗОВА ОЛЬГА ДМИТРИЕВНА3 1 Институт общей физики |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=21247178 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
УСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ
Издательство: НПО "Орион" (Москва)
ISSN: 2307-4469
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
ТЕТРАФТОРИД КРЕМНИЯ, ФТОРСИЛАНЫ, МОНОСИЛАН, ОБЪЕМНЫЙ САМОСТОЯТЕЛЬНЫЙ РАЗРЯД, ИНФРАКРАСНАЯ ФУРЬЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
АННОТАЦИЯ:
Приводятся первые результаты исследования возможности эффективной конверсии SiF 4 в SiHF 3, SiH 2 F 2 и SiH 4 в плазме объемного самостоятельного разряда, зажигаемого в смеси SiF 4: H 2. Исследованы характеристики разряда, получена величина энергетической цены синтеза SiHF 3 составляет Q ~ 32 кВт∙ч/кг. Установлено, что в диапазоне давлений смеси P = 60─350 Торр величина Q не зависит от давления. Обсуждаются возможности снижения энергозатрат на синтез фторсиланов за счет уменьшения электрических потерь в разрядном контуре и организации газового потока в реакторе.
ПодробнееУСПЕХИ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ
Издательство: НПО "Орион" (Москва)
ISSN: 2307-4469
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
ТЕТРАФТОРИД КРЕМНИЯ, ФТОРСИЛАНЫ, МОНОСИЛАН, ОБЪЕМНЫЙ САМОСТОЯТЕЛЬНЫЙ РАЗРЯД, ИНФРАКРАСНАЯ ФУРЬЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
АННОТАЦИЯ:
Приводятся первые результаты исследования возможности эффективной конверсии SiF 4 в SiHF 3, SiH 2 F 2 и SiH 4 в плазме объемного самостоятельного разряда, зажигаемого в смеси SiF 4: H 2. Исследованы характеристики разряда, получена величина энергетической цены синтеза SiHF 3 составляет Q ~ 32 кВт∙ч/кг. Установлено, что в диапазоне давлений смеси P = 60─350 Торр величина Q не зависит от давления. Обсуждаются возможности снижения энергозатрат на синтез фторсиланов за счет уменьшения электрических потерь в разрядном контуре и организации газового потока в реакторе.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.