К МОДЕЛИ ОБРАЗОВАНИЯ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ В СИСТЕМЕ SIC-ALN ПРИ МАГНЕТРОННОМ НАНЕСЕНИИ ПЛЕНОК
14 сентября 2018
227
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | ХАРЛАМОВ Н.А.1, КУЗНЕЦОВ Г.Д.1, ЕВСЕЕВ В.А1, БИЛАЛОВ Б.А.2, КАРГИН Н.И.3 1 ФГОУ ВПО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСиС» 2 ФГОУ ВПО «Дагестанский государственный технический университет» 3 ФГОУ ВПО «Национальный исследовате |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=22877430 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ НАУКИ И ОБРАЗОВАНИЯ
Издательство: Издательский Дом "Академия Естествознания" (Пенза)
ISSN: 2070-7428
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
УТОЧНЕНИЕ К МОДЕЛИ ОБРАЗОВАНИЯ, AN UPDATE TO THE MODEL OF EDUCATION, ФАЗОВАЯ ДИАГРАММА, PHASE DIAGRAM, ТВЕРДЫЕ РАСТВОРЫ, SOLID SOLUTIONS, НИТРИД АЛЮМИНИЯ, ALUMINUM NITRIDE, КАРБИД КРЕМНИЯ, SILICON CARBIDE
АННОТАЦИЯ:
Рассмотрены экспериментальные результаты по получению пленок твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x магнетронным распылением однородной компактной мишени. Установлено, что элементный и фазовый составы плёнок могут соответствовать составу мишени. Физико-химический анализ механизма замещения атомов в катионных и анионных подрешетках при смешении атомов в квазибинарной системе SiC-AlN позволил подтвердить возможность образования непрерывного ряда твердых растворов при температурах менее 900 0С опираясь на основные представления об изоморфизме и термодинамических критериях теории смешения. Произведен расчет деформационной и электростатической составляющей параметра взаимодействия. Полученные экспериментальные и расчетные результаты дополняют и уточняют имеющиеся представления о модели образования твердых растворов в системе SiC-AlN.
ПодробнееСОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ НАУКИ И ОБРАЗОВАНИЯ
Издательство: Издательский Дом "Академия Естествознания" (Пенза)
ISSN: 2070-7428
КЛЮЧЕВЫЕ СЛОВА:
УТОЧНЕНИЕ К МОДЕЛИ ОБРАЗОВАНИЯ, AN UPDATE TO THE MODEL OF EDUCATION, ФАЗОВАЯ ДИАГРАММА, PHASE DIAGRAM, ТВЕРДЫЕ РАСТВОРЫ, SOLID SOLUTIONS, НИТРИД АЛЮМИНИЯ, ALUMINUM NITRIDE, КАРБИД КРЕМНИЯ, SILICON CARBIDE
АННОТАЦИЯ:
Рассмотрены экспериментальные результаты по получению пленок твердых растворов (SiC)1-x(AlN)x магнетронным распылением однородной компактной мишени. Установлено, что элементный и фазовый составы плёнок могут соответствовать составу мишени. Физико-химический анализ механизма замещения атомов в катионных и анионных подрешетках при смешении атомов в квазибинарной системе SiC-AlN позволил подтвердить возможность образования непрерывного ряда твердых растворов при температурах менее 900 0С опираясь на основные представления об изоморфизме и термодинамических критериях теории смешения. Произведен расчет деформационной и электростатической составляющей параметра взаимодействия. Полученные экспериментальные и расчетные результаты дополняют и уточняют имеющиеся представления о модели образования твердых растворов в системе SiC-AlN.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.