АВТОМАТИТИЗАЦИЯ ИОННО-ПУЧКОВОЙ УСТАНОВКИ ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ РАЗЛИЧНЫХ ПРОГРАММ ОБЛУЧЕНИЯ
14 сентября 2018
247
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | МАМЕДОВ Н.В.1, КУРНАЕВ В.А.1, СИНЕЛЬНИКОВ Д.Н.1, КОЛОДКО Д.В. |
| Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=22840929 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
ПРИБОРЫ И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0032-8162
АННОТАЦИЯ:
Описана система автоматизации установки “Большой масс-монохроматор МИФИ” с дуоплазматроном в качестве ионного источника и выносным четвертьсферическим энергоанализатором отраженных и выбитых из мишени ионов. Создание системы компьютерного управления позволило осуществить ионно-пучковые эксперименты в автоматическом программируемом режиме, в том числе проводить одновременное определение элементного состава и толщины поверхностных пленок в процессе плазменного/ионного воздействия.
ПодробнееПРИБОРЫ И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0032-8162
АННОТАЦИЯ:
Описана система автоматизации установки “Большой масс-монохроматор МИФИ” с дуоплазматроном в качестве ионного источника и выносным четвертьсферическим энергоанализатором отраженных и выбитых из мишени ионов. Создание системы компьютерного управления позволило осуществить ионно-пучковые эксперименты в автоматическом программируемом режиме, в том числе проводить одновременное определение элементного состава и толщины поверхностных пленок в процессе плазменного/ионного воздействия.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.