ВОЛЬТ-АМПЕРНАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА КОНТАКТА ПЛАЗМЫ С ЭЛЕКТРОДОМ С ТОНКОЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПЛЕНКОЙ НА ПОВЕРХНОСТИ
14 сентября 2018
271
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | ГУТОРОВ К.М.1, ВИЗГАЛОВ И.В.1, СОРОКИН И.А.1, ПОДОЛЯКО Ф.С. |
Ссылка на публикацию в интернете | elibrary.ru/item.asp?id=22996268 |
Аннотация
ЖУРНАЛ:
ПИСЬМА В ЖУРНАЛ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ И ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0370-274X
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа выполнена при поддержке РФФИ (грант # 13-02-01244).
АННОТАЦИЯ:
Построена модель протекания тока в контакте плазмы с электродом с тонкой диэлектрической пленкой на поверхности, позволяющая описывать наблюдаемые особенности вольт-амперной характеристики (ВАХ) такого контакта: участок с малым током вблизи плавающего потенциала, соответствующий перезарядке пленки, и участок повышенного тока, где работает механизм полевой эмиссии электронов сквозь пленку в плазму, что приводит к N-образной форме ВАХ. Такие ВАХ наблюдаются у электродов из W, Al, Ta с пленками собственного оксида и из нержавеющей стали с пленкой оксида кремния в пучково-плазменном разряде на водороде. Модель основана на расчете равновесного потенциала обращенной к плазме поверхности пленки для области отрицательного смещения электрода относительно потенциала плазмы. В балансе учитываются токи ионов и электронов из плазмы, токи вторичной эмиссии и ток полевой эмиссии электронов из электрода в плазму сквозь диэлектрик. Рассчитанное в рамках модели напряжение перезарядки пленки точно соответствует экспериментальным данным. Это дает возможность определять толщину слоя диэлектрика на поверхности электрода по его ВАХ.
ПодробнееПИСЬМА В ЖУРНАЛ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ И ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ
Издательство: Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" (Москва)
ISSN: 0370-274X
ИНФОРМАЦИЯ О ФИНАНСОВОЙ ПОДДЕРЖКЕ:
Работа выполнена при поддержке РФФИ (грант # 13-02-01244).
АННОТАЦИЯ:
Построена модель протекания тока в контакте плазмы с электродом с тонкой диэлектрической пленкой на поверхности, позволяющая описывать наблюдаемые особенности вольт-амперной характеристики (ВАХ) такого контакта: участок с малым током вблизи плавающего потенциала, соответствующий перезарядке пленки, и участок повышенного тока, где работает механизм полевой эмиссии электронов сквозь пленку в плазму, что приводит к N-образной форме ВАХ. Такие ВАХ наблюдаются у электродов из W, Al, Ta с пленками собственного оксида и из нержавеющей стали с пленкой оксида кремния в пучково-плазменном разряде на водороде. Модель основана на расчете равновесного потенциала обращенной к плазме поверхности пленки для области отрицательного смещения электрода относительно потенциала плазмы. В балансе учитываются токи ионов и электронов из плазмы, токи вторичной эмиссии и ток полевой эмиссии электронов из электрода в плазму сквозь диэлектрик. Рассчитанное в рамках модели напряжение перезарядки пленки точно соответствует экспериментальным данным. Это дает возможность определять толщину слоя диэлектрика на поверхности электрода по его ВАХ.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.