Цифровой интерферометр с дифрагированной эталонной волной для контроля оптических элементов, поверхностей и микрообъективов
14 сентября 2018
234
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | — |
Ссылка на публикацию в интернете | www.labor-microscopes.ru/about/stati/czifrovoj-interferometr.html |
Аннотация
Принцип интерферометра состоит в том, что на одну их поверхностей разделителя светового пучка, выполненного в виде плоскопараллельной пластины, нанесено зеркальное покрытие вместо светоделительного покрытия, используемого в неравноплечих интерферометрах. В центре зеркального покрытия имеется точечное отверстие, а между лазером и разделителем пучка расположен объектив, задний фокус которого совмещен с точечным отверстием на разделителе пучка. Точечное отверстие служит источником дифракционной волны, которая является опорой. Таким образом, возникающая в этой схеме интерференционная картина есть результат сложения идеальной сферической волны, возникающей при дифракции на точечном отверстии, и рабочей волны, отраженной от контролируемой поверхности. Вследствие такого решения разделителя в интерференционной картине отсутствуют паразитные изображения, возникающие в обычных светоделительных элементах, что позволяет дополнительно повысить точность, надежность и воспроизводимость интерференционного контроля.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.