Описание, применение MEMS - Микро-Электронно Механическая Система

MEMS позволяет революционизировать почти каждую категорию продукта путем объединения микроэлектроники на основе кремния с технологиями микрообработки, что делает возможным реализацию комплексных микро систем-на-чипе. MEMS является технологией, способствующей развитию интеллектуальных продуктов, увеличению вычислительных возможностей микро-электроники с восприятием и возможностью управления микро-датчиками и микро-приводами и расширением пространства возможных конструкций и применений. Bio-MEMS является одним из приложений, связанных с биотехнологией, таких как полимеразная цепная реакция (ПЦР), микросистемы для амплификации ДНК и идентификации, микромеханический сканирующий туннельный микроскоп (СТМ), биочипы для выявления опасных химических и биологических агентов, и микросистем высокой скрининг наркотиков и выбора.