Выращивание пленок нитрида алюминия методом плазмоактивированного осаждения с раздельной подачей реагентов
14 сентября 2018
253
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | В. А. Тарала, А. С. Алтахов, М. Ю. Шевченко, Д. П. Валюхов, С. В. Лисицын, В. Я. Мартенс |
| Ссылка на публикацию в интернете | — |
Аннотация
Пленки выращивались методом плазмоактивированного осаждения с раздельной подачей реаген
тов в режимах самоограниченного роста и в режимах, похожих на химическое осаждение из газовой
фазы. Полученные образцы исследовались методами ИКспектроскопии, эллипсометрии и оже
спектроскопии. Анализировалось влияние температуры процесса, длительности стадии продувки
реактора осле обработки подложек парами триметилалюминия, а также продолжительности плаз
менной экспозиции на скорость роста и состав пленок. В исследуемых условиях осаждения скоро
сти роста находились в диапазоне от 0.1 до 0.26 нм/цикл, показатель преломления – от 1.52 до 1.98.
Получены пленки, у которых соотношение атомных долей алюминия и азота близко к единице.
Подробнеетов в режимах самоограниченного роста и в режимах, похожих на химическое осаждение из газовой
фазы. Полученные образцы исследовались методами ИКспектроскопии, эллипсометрии и оже
спектроскопии. Анализировалось влияние температуры процесса, длительности стадии продувки
реактора осле обработки подложек парами триметилалюминия, а также продолжительности плаз
менной экспозиции на скорость роста и состав пленок. В исследуемых условиях осаждения скоро
сти роста находились в диапазоне от 0.1 до 0.26 нм/цикл, показатель преломления – от 1.52 до 1.98.
Получены пленки, у которых соотношение атомных долей алюминия и азота близко к единице.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.