| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | — |
| Ссылка на публикацию в интернете | www.isp.nsc.ru/lab2/index.php?ID=lab_ru |
Аннотация
История возникновения метода оптической эллипсометрии восходит к работам Друде, Малюса, Брюстера, Релея и др. основоположников физической оптики 19 века, где отражение поляризованного света, в основном, использовалось для измерения оптических констант металлов. Вплоть до середины прошлого столетия метод оставался мало востребованным. Толчок в его развитии был связан с потребностями интенсивно развивающейся в то время полупроводниковой микроэлектроники. Потребовался простой, доступный и надежный метод прецизионного контроля толщины диэлектрических слоев.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.