Методы формирования наноразмерных тонких пленок в вакууме

14 сентября 2018
241
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации Григорьянц А.Г., Мисюров А.И., Макаров В.В.
Ссылка на публикацию в интернете mcltpro.ru/assets/files/articles/makarov.pdf

Аннотация

Квантоворазмерные наноструктуры являются одним из наиболее перспективных объектов нанотехнологии, предназначенных для усиления изоляционных, оптических и магнитных эффектов в тонких пленках, а также повышения автоэмиссионных характеристик поверхностей с нанорельефом. Повышенный интерес исследователей к наноструктурам вызван проявлением у них так называемых «квантовых размерных эффектов» и связан с необычными физическими и химическими свойствами. В данной работе проведен анализ вакуумных методов формирования квантово-размерных наноструктур. Рассмотрены наиболее распространенные методы, их особенности, принципиальные схемы и условия формирования тонких пленок, в частности метод лазерного парофазного осаждения, обладающих преимуществами по сравнению с другими методами.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.