Исследование влияния электродной структуры на свойства ПАВ в сильных пьезоэлектриках

Представлены результаты исследований основных СОМ-параметров (коэффициента отражения, коэффициента связи и эффективной скорости волны), как функции коэффициента металлизации в электродной структуре и толщины пленки алюминия, для ряда срезов пьезоматериалов, используемых в акустоэлектронике.

Важнейшими параметрами при проектировании устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ), в особенности фильтров с малым вносимым затуханием, являются коэффициент отражения от электрода и скорость акустической волны под электродной структурой. Тем не менее, существует мало публикаций, посвященных исследованию их зависимости от геометрии электродной структуры (коэффициента металлизации решеток и толщины напыляемой пленки), что связано с большими трудностями измерения данных параметров.