Сканирующая зондовая микроскопия

В сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) используется взаимодействие между твердотельным нанозондом, приближенным к объекту исследования на некоторое малое расстояние - характерную длину затухания взаимодействия «зонд-объект». Для получения изображения объекта используются прецизионные системы механического сканирования нанозондом над образцом (или образцом над зондом), причем система автоматического регулирования стабилизирует параметры наноконтакта между зондом и объектом в процессе сканирования. Пространственное разрешение сканирующих зондовых микроскопов определяется характерным размером наноконтакта между зондом и образцом. Образно выражаясь, можно сказать, что образец ощупывается и обстукивается.