Технология получения поликристаллического кремния

Среди всех полупроводниковых материалов кремний в течение длительного времени занимает лидирующее положение и является базовым сырьевым материалом электронной и электротехнической промышленности для производства широкого спектра дискретных и интегральных полупроводниковых приборов на его основе. В последние годы определилась возможность применения кремния как перспективного материала для структур наноиндустрии, приборов микромеханики и др.