Композиционные (многокомпонентные) катоды для вакуумнодугового и магнетронного синтеза нитридных покрытий с нанокристаллической структурой
14 сентября 2018
248
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | — |
| Ссылка на публикацию в интернете | www.ispms.ru/ru/production/53/ |
Аннотация
Композиционные катоды изготавливаются из порошковых смесей целевого элементного состава методами традиционной порошковой металлургии или самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС). При вакуумно-дуговом или магнетронном распылении катодов в среде азота генерируется однородная по элементному составу плазма.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.