Плазменные процессы в технологии кремниевых ИС, исследуемые в лабораториях ФТИАН
14 сентября 2018
278
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | — |
Ссылка на публикацию в интернете | ftian.ru/works/work1/#1 |
Аннотация
Конструкция реактора, включает ВЧ источник плазмы и держатель, предназначенный для размещения на нем пластины Ø 150 мм. Рабочая камера источника представляет собой цилиндр Ø 300 мм и высотой 200 мм, выполненный из нержавеющей стали. Магнитная система ВЧ источника ИВП построена с применением постоянных магнитов, изготовленных из сплава Nd-Fe-B. В источнике достигнута высокая плотность плазмы и высокая радиальная однородность, низкая температура электронов, что иллюстрируется на рисунках, приведенных ниже.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.