Томография источников плазмы на основе ОЭС (2D-распределения реактивных частиц, ионов)

Синхронный двухканальный спектрометр для регистрации эмиссионного излучения активных радикалов и ионов во F-, Cl-и Br-содержащей плазме по двум независимым каналам,Система автоматизированного сканирования оптических детекторов по двум координатам,Комплект программного обеспечения управления томографом, Пакет специализированных программ компьютерной томографии. Продольное распределение плотности частиц в плазме вдоль поверхности пластины является критическим для плазменных процессов на стадии производства интегральных схем, и должно быть оптимизировано на этапе разработки процесса. Оптическая эмиссионная томография плазмы является многообещающим методом для этой цели.