Физическая химия, микро- и нанотехнологии

Научно-исследовательская работа является неотъемлемым компонентом многогранной деятельности кафедры. Как и в прежние годы, разрабатываются физико-химические основы низкотемпературных процессов химического осаждения пленок неорганических веществ и наночастиц из газовой фазы, с использованием методов “in situ” диагностики состава реакционных газовых сред исследуются реакционные схемы термоактивируемых процессов химического осаждения из газовой фазы нитридов, оксидов и оксинитридов p-элементов III и IV групп Периодической системы. Особое внимание уделяется исследованию и разработке плазмохимических технологических процессов осаждения диэлектрических слоев, отличающихся надежным контролем условий формирования образующегося слоя и минимизацией процессов дефектообразования в приповерхностной области полупроводника. Активно ведутся исследования в области низкотемпературных плазмохимических процессов, осуществляемых при атмосферном давлении. Разрабатываются конструкции и технологии изготовления различных изделий микросистемной техники.