Твердофазный синтез в двухслойных тонких металлических пленках, связанный с мартенситными превращениями в продуктах реакции

В настоящее время все крупнейшие мировые производители
микроэлектроники занимаются исследованием твёрдофазного синтеза в тонких плёнках. Одной из отличительных особенностей твердофазных реакций в тонких плёнках является то, что они могут инициироваться при сравнительно низких температурах. Поиск оптимальных условий протекания твёрдофазного синтеза в тонких плёнках осуществляется исключительно опытным путём. Из экспериментальных данных следует, что при отжиге пленок при достижении некоторой температуры реакция может проходить в течение нескольких
секунд. Это плохо объясняется диффузионным механизмом, так как коэффициент диффузии при этом должен быть близок
к коэффициенту диффузии в жидкой фазе. Поэтому требуются новые подходы в объяснении механизма массопереноса во время низкотемпературных твердофазных реакций.