Ионно-плазменная технология нанесения термостабильных наноструктурных покрытий и вакуумная установка «Квант»

Технология и установка предназначены для ионно-плазменного осаждения термостабильных наноструктурных покрытий на детали машин и механизмов, режущий инструмент, штамповую оснастку из высокопрочных конструкционных и инструментальных сталей и твердых сплавов с целью кратного повышения износостойкости, эрозионной, окислительной и коррозионной стойкости, термоциклической стойкости, снижения коэффициента трения. Технология основана на создании нанокомпозитов или наноламинатов на основе нитридов, карбидов, боридов или оксидов переходных металлов в поверхностном слое деталей. Технология позволяет получать самоупрочняемые при нагреве покрытия. Установка оснащена двумя магнетронными распылителями металлов, ионным источником для предварительной поверхностной обработки подложек потоком ионов и сопровождения процесса осаждения ионной бомбардировкой, а также независимым резистивным нагревателем подложек. В конструкции установки предусмотрено применение композиционных мишеней и катодов, импульсных источников питания магнетронов и подачи потенциала смещения на подложки.