Фоторезисты - материалы для микроэлектроники

Фоторезисты – свето- или рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получения соответствующего фотошаблону расположения окон для доступа травящих веществ к поверхности обрабатываемого материала. ФГУП «ГНЦ «НИОПИК» выпускает ряд марок фоторезистов серийно и по спецзаказам, а также осуществляет разработку новых фоторезистов по заказам и в рамках программ по импортозамещению материалов для отечественной электронной промышленности. С целью улучшения потребительских свойств фоторезистов проводится непрерывная работа по совершенствованию композиций и разработке современных светочувствительных компонентов, в том числе для нанолитографии. Ассортимент выпускаемой отделом продукции постоянно расширяется. Использование высококачественного сырья и полупродуктов собственного производства, контроль всех стадий технологического процесса позволяет добиться высокого качества продукции, которое отмечено положительными отзывами таких крупных производителей отечественной микроэлектроники как ОАО «Сатурн», ОАО «Ангстрем», ОАО «Интеграл», ОАО «НПП «Квант», ОАО «СКТБ РТ», ОАО «НПП «Сапфир», ЗАО «К-СТС». Представленный ассортимент продукции поставляется на более чем 130 предприятий радиоэлектронной промышленности.