Органические функциональные материалы для новых и специальных областей техники
14 сентября 2018
289
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Тематический материал |
Контактные данные автора публикации | — |
Ссылка на публикацию в интернете | www.niopik.ru/science/materials/ |
Аннотация
Усилиями коллектива сотрудников был организован промышленный выпуск фоторезистов: фото-,электроно- и рентгенорезистов - предназначенных для реализации фотолитографических процессов изготовления изделий полупроводниковой техники. В том числе до сих пор популярный позитивный фоторезист ФП-383. Позитивные фоторезисты используются для: производства полупроводниковых приборов и интегральных схем с размерами элементов от 1 до 1.5 мкм
плазмохимических, электрохимических и жидкостных процессов травления; глубинного травления кремния; при изготовлении больших интегральных схем с размерами элементов от 0.8 до 1.2 мкм; субмикронной литографии при изготовлении; сверхбольших интегральных схем с размерами элементов от 0.35 до 0.8 мкм. Негативные фоторезисты применяются для производства СВЧ-приборов при экспонировании глубоким ультрафиолетовым излучением. Электронорезисты применяются для производства СВЧ-приборов при экспонировании электронным лучом.
Подробнееплазмохимических, электрохимических и жидкостных процессов травления; глубинного травления кремния; при изготовлении больших интегральных схем с размерами элементов от 0.8 до 1.2 мкм; субмикронной литографии при изготовлении; сверхбольших интегральных схем с размерами элементов от 0.35 до 0.8 мкм. Негативные фоторезисты применяются для производства СВЧ-приборов при экспонировании глубоким ультрафиолетовым излучением. Электронорезисты применяются для производства СВЧ-приборов при экспонировании электронным лучом.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.