Органические функциональные материалы для новых и специальных областей техники

14 сентября 2018
289
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Тематический материал
Контактные данные автора публикации
Ссылка на публикацию в интернете www.niopik.ru/science/materials/

Аннотация

Усилиями коллектива сотрудников был организован промышленный выпуск фоторезистов: фото-,электроно- и рентгенорезистов - предназначенных для реализации фотолитографических процессов изготовления изделий полупроводниковой техники. В том числе до сих пор популярный позитивный фоторезист ФП-383. Позитивные фоторезисты используются для: производства полупроводниковых приборов и интегральных схем с размерами элементов от 1 до 1.5 мкм
плазмохимических, электрохимических и жидкостных процессов травления; глубинного травления кремния; при изготовлении больших интегральных схем с размерами элементов от 0.8 до 1.2 мкм; субмикронной литографии при изготовлении; сверхбольших интегральных схем с размерами элементов от 0.35 до 0.8 мкм. Негативные фоторезисты применяются для производства СВЧ-приборов при экспонировании глубоким ультрафиолетовым излучением. Электронорезисты применяются для производства СВЧ-приборов при экспонировании электронным лучом.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.