Технологии высоковакуумного отжига

Отжигу в вакууме с целью обезгаживания подвергаются главным образом массивные детали крупных электровакуумных приборов, изготовленные из тантала, меди, молибдена, графита, черненого и алюминированного никеля. При этом происходит также и восстановление окислов, частично диссоциирующих при высоких температурах и частично восстанавливающихся газами (Н2, СО и др.), которые выделяются из внутренних слоев металла. Для качественного обезгаживания необходимо, чтобы степень вакуума в откачиваемом объеме была порядка 10-5 мм рт. ст., а температура отжига была бы значительно выше рабочей температуры деталей при их работе в готовом приборе и несколько выше температуры, до которой детали будут нагреваться в процессе обработки прибора на откачных постах (полуавтоматах).