Применение электронно-лучевых методов для диагностики и контроля технологических особенностей современных СБИС

14 сентября 2018
194
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации
Ссылка на публикацию в интернете inme-ras.ru/rus/about/publications/detail.php?id=757

Аннотация

А.М. Тагаченков, Ю.В. Ануфриев, А.В. Коновалов, В.Ю. Караулов. Применение электронно-лучевых методов для диагностики и контроля технологических особенностей современных СБИС// Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах (метрология, диагностика, технология, учебный процесс): Материалы докладов научно-методического семинара ( Москва, 26 ноября 2015 г.) М: МНТОРЭС им. А.С. Попова, НИУ «МЭИ» 2016.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.