Применение электронно-лучевых методов для диагностики и контроля технологических особенностей современных СБИС
14 сентября 2018
194
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | — |
Ссылка на публикацию в интернете | inme-ras.ru/rus/about/publications/detail.php?id=757 |
Аннотация
А.М. Тагаченков, Ю.В. Ануфриев, А.В. Коновалов, В.Ю. Караулов. Применение электронно-лучевых методов для диагностики и контроля технологических особенностей современных СБИС// Флуктуационные и деградационные процессы в полупроводниковых приборах (метрология, диагностика, технология, учебный процесс): Материалы докладов научно-методического семинара ( Москва, 26 ноября 2015 г.) М: МНТОРЭС им. А.С. Попова, НИУ «МЭИ» 2016.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.