Методика формирования изолированных тестовых структур на основе металлокомпозитов с углеродными нанотрубками без использования дамасского процесса
14 сентября 2018
248
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Методика |
Контактные данные автора публикации | — |
Ссылка на публикацию в интернете | inme-ras.ru/rus/about/publications/detail.php?id=751 |
Аннотация
Кондратьев П.К., Павлов А.А., Милованов Р.А.,Скворцов А.А., Кицюк Е.П., Ануфриев Ю.В. Сборник докладов 5-ой международной научно-технической Конференции «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике», ИНМЭ РАН, Москва, 13-15 апреля 2016 г.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.