Регулирование концентрации УНТ в композитной металлизации СБИС
14 сентября 2018
1466
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | — |
| Ссылка на публикацию в интернете | inme-ras.ru/rus/about/publications/detail.php?id=750 |
Аннотация
Кондратьев П.К. Сборник докладов 5-ой международной научно-технической Конференции «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике», ИНМЭ РАН, Москва, 13-15 апреля 2016 г.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.