Использование тонкой пленки сплава Co15Ti40N35 для каталитического роста углеродных нанотрубок методом CVD

14 сентября 2018
430
Предметная область —
Выходные данные —
Ключевые слова —
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации —
Ссылка на публикацию в интернете inme-ras.ru/rus/about/publications/detail.php?id=808

Аннотация

Громов Д.Г., Дубков С.В., Павлов А.А., Скорик С.Н., Трифонов А.Ю., Шулятьев А.С., Шаман Ю.П., Рыгалин Б.Н. // Использование тонкой пленки сплава Co15Ti40N35 для каталитического роста углеродных нанотрубок методом CVD // МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, Том 45, №2
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.