Использование тонкой пленки сплава Co15Ti40N35 для каталитического роста углеродных нанотрубок методом CVD
14 сентября 2018
251
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | — |
| Ссылка на публикацию в интернете | inme-ras.ru/rus/about/publications/detail.php?id=808 |
Аннотация
Громов Д.Г., Дубков С.В., Павлов А.А., Скорик С.Н., Трифонов А.Ю., Шулятьев А.С., Шаман Ю.П., Рыгалин Б.Н. // Использование тонкой пленки сплава Co15Ti40N35 для каталитического роста углеродных нанотрубок методом CVD // МИКРОЭЛЕКТРОНИКА, Том 45, №2
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.