Универсальный кристалл к датчикам расхода газа
14 сентября 2018
286
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Презентация |
Контактные данные автора публикации | — |
Ссылка на публикацию в интернете | www.niifp.ru/page/universalnyj-kristall-k-datchikam-rashoda-gaza |
Аннотация
Конструктивно-технологической основой сенсора является многослойная термокомпенсированная диэлектрическая мембрана на кремниевой рамке-основании. Чередующиеся слои двуокиси кремния, нитрида кремния и поликремния, оптимизированные по толщинам, последовательности и количеству, формируются методами термического окисления и пиролитического нанесения. Принцип действия датчика основан на преобразовании сигнала, формируемого под воздействием теплообмена протекающего потока с системой металлических проводников на кремниевой мембране в электрический сигнал с нормированными характеристиками - принцип термоэлектрической регистрации. Датчик может работать как в термоанемометрическом, так и в калориметрическом режимах.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.