Универсальный кристалл к датчикам расхода газа

14 сентября 2018
202
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Презентация
Контактные данные автора публикации
Ссылка на публикацию в интернете www.niifp.ru/page/universalnyj-kristall-k-datchikam-rashoda-gaza

Аннотация

Конструктивно-технологической основой сенсора является многослойная термокомпенсированная диэлектрическая мембрана на кремниевой рамке-основании. Чередующиеся слои двуокиси кремния, нитрида кремния и поликремния, оптимизированные по толщинам, последовательности и количеству, формируются методами термического окисления и пиролитического нанесения. Принцип действия датчика основан на преобразовании сигнала, формируемого под воздействием теплообмена протекающего потока с системой металлических проводников на кремниевой мембране в электрический сигнал с нормированными характеристиками - принцип термоэлектрической регистрации. Датчик может работать как в термоанемометрическом, так и в калориметрическом режимах.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.