Интегральные схемы на основе технологии с одной операцией литографии - однолитграфической технологии
14 сентября 2018
423
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Презентация |
| Контактные данные автора публикации | — |
| Ссылка на публикацию в интернете | www.niifp.ru/page/poluprovodnikovaya-nanoelektronika |
Аннотация
Переход к однолитографической технологии ведет к ее коренным изменениям. Однократность переноса топологической информации на обрабатываемую пластину позволяет минимизировать помехи и все последующие технологические операции проводить в замкнутом контролируемом объеме. В результате достигаются следующие цели: максимальная стабилизация технологии; воспроизводимость предельно минимальных размеров; минимизация привносимых дефектов.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.