Интегральные схемы на основе технологии с одной операцией литографии - однолитграфической технологии

14 сентября 2018
170
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Презентация
Контактные данные автора публикации
Ссылка на публикацию в интернете www.niifp.ru/page/poluprovodnikovaya-nanoelektronika

Аннотация

Переход к однолитографической технологии ведет к ее коренным изменениям. Однократность переноса топологической информации на обрабатываемую пластину позволяет минимизировать помехи и все последующие технологические операции проводить в замкнутом контролируемом объеме. В результате достигаются следующие цели: максимальная стабилизация технологии; воспроизводимость предельно минимальных размеров; минимизация привносимых дефектов.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.