Технологии производства специального технологического оборудования по откачке и обезгаживанию

Все откачное оборудование построено по принципу откачки "вакуум в вакууме". Как правило, внешний вакуум порядка 10-5 мм рт. ст., а вакуум в системе откачки изделия порядка 10-7-10-9 мм рт. ст. В качестве высоковакуумных средств откачки применяются магниторазрядные насосы. Температура обезгаживания - до 600°С. Управление процессом откачки автоматизированное - микропроцессорное.