| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | Тимошин Андрей, тел.: (495) 287-85-77, e-mail: infos@tbs-semi.ru |
| Ссылка на публикацию в интернете | www.tbs-semi.ru/library/tekhnologii_nil_i_scil-_otvety_na_voprosy/ |
Аннотация
Вопросы по SCIL, вопросы по NIL а также общие вопросы по обеим наноимпринт-технологиям
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.