| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Тематический материал |
| Контактные данные автора публикации | Тимошин Андрей, тел.: (495) 287-85-77, e-mail: infos@tbs-semi.ru |
| Ссылка на публикацию в интернете | www.tbs-semi.ru/library/vysokotochnaya_sistema_naneseniya_ot_firmy_suss/ |
Аннотация
Точное нанесение фоторезиста является одним из ключевых шагов в процессах фотолитографии. Помимо основных критериев, таких как безпузырьковое распыление, равномерность нанесения зависит также от точности и скорости потока. До недавнего времени высокоточное распыление могли обеспечить только системы с поршневыми насосами. Однако компания SUSS Microtec представила нагнетательную систему распыления, которая готова занять эту нишу.
ПодробнееДля того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.