Плазменные технологии и области применения. Bosch Process на оборудовании фирмы CORIAL.
14 сентября 2018
295
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Тематический материал |
| Контактные данные автора публикации | Тимошин Андрей, тел.: (495) 287-85-77, e-mail: infos@tbs-semi.ru |
| Ссылка на публикацию в интернете | www.tbs-semi.ru/upload/iblock/96c/96c4f22462e116e46b3d3de4c465ff24.pdf |
Аннотация
Разработанная с учетом требований
научно-исследовательского рынка,
программа COSMA Pulse обеспечивает
идеальную гибкость процесса травления.
Благодаря этому ПО инженеры теперь
имеют возможность редактировать и
управлять рецептами для стандартного
процесса травления (индуктивно
связанная плазма и реактивное ионное
травление), процессов глубокого
реактивного ионного травления (Бош-
процесса) или процессов травления
атомных слоев –
Подробнеенаучно-исследовательского рынка,
программа COSMA Pulse обеспечивает
идеальную гибкость процесса травления.
Благодаря этому ПО инженеры теперь
имеют возможность редактировать и
управлять рецептами для стандартного
процесса травления (индуктивно
связанная плазма и реактивное ионное
травление), процессов глубокого
реактивного ионного травления (Бош-
процесса) или процессов травления
атомных слоев –
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.