Высокочистые летучие неорганические гидриды для микро- и оптоэлектроники

14 сентября 2018
143
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Тематический материал
Контактные данные автора публикации
Ссылка на публикацию в интернете www.ihps.nnov.ru/psvlng.html

Аннотация

Высокочистые SiH4, SiH2Cl2, SiHCl3, GeH4, H2Se, H2S с содержанием примесей металлов 1-10 ppb wt.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.