Спектральные визуализирующие эллипсометры

Эллипсометрия – очень чувствительный оптический метод, который используется уже в течение более чем 100 лет с целью получения информации о поверхности. Он основан на том явлении, что состояние поляризации света изменяется при отражении от поверхностей раздела сред. Основоположником метода эллипсометрии является немецкий исследователь Пауль Друде, применявший ее для получения оптических констант металлов и сверхтонких пленок. Затем долгое время метод оставался невостребованным. Однако в середине 20-го века с бурным развитием микроэлектроники, появлением лазеров и вычислительной техники он получил второе рождение и на сегодняшний день применяется в самых разных областях: микро- и наноэлектронике, физике полупроводников и физике твёрдого тела, в оптике, электрохимии, химии полимеров, биологии, медицине и в других, и занимает лидирующее место в ряду других аналитических методов.