Гидрид-литиевая технология производства моносилана

Технология базируется на разработанном способе получения моносилана из тетрахлорида кремния при его взаимодействии с гидридом лития. Способ является новым в части реализации, так как ранее был известен способ конверсии тетрахлорида кремния в моносилан гидридом лития в среде расплава солей. В известных способах восстановления кремния щелочными гидридами не решался вопрос с образующимися солями – их необходимо утилизировать. В предложенной технологической схеме образующийся в ходе реакции хлорид лития (LiCl) направляется на высокотемпературный электролиз для получения металлического лития, из которого в свою очередь получают гидрид лития, идущий на проведение реакции конверсии тетрахлорида кремния в моносилан, т.е. литий работает в рецикле, что является очень важным фактором, позволяющим уменьшить себестоимость конечной продукции. По такой схеме доступный высокочистый тетрахлорид кремния, образующийся и накапливающийся в кремниевом производстве по трихлорсилановой технологии, может быть переработан в моносилан при взаимодействии с гидридом лития при температурах около 300 °С. Криогенная очистка получаемого моносилана позволяет получать его в виде товарной продукции, пригодной для многих применений в микроэлектронике и для использования в производстве высокочистого поликристаллического кремния.