ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННОГО ПЛАЗМОАКТИВИРОВАННЫМ ОСАЖДЕНИЕМ

14 сентября 2018
143
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации С.В. Лисицын, В.А. Тарала, К.И. Сидоров, А.С. Алтахов 355029, г. Ставрополь, пр. Кулакова 2, корпус 10, ауд. 213. Директор центра коллективного пользования – кандидат физико-математических наук, доцент Лисицын Сергей Викторович, тел. раб.: 7 (8652) 33-0
Ссылка на публикацию в интернете

Аннотация

В работе приведены результаты исследования пленок нитрида алюминия на подложке кремния методами оже - электронной спектрометрии и масс-спектрометрии.
Актуальные проблемы современной науки. 4ая Международная научно-практическая конференция (Алушта, 2015)
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.