ИССЛЕДОВАНИЕ ПЛЕНОК НИТРИДА АЛЮМИНИЯ, ПОЛУЧЕННОГО ПЛАЗМОАКТИВИРОВАННЫМ ОСАЖДЕНИЕМ
14 сентября 2018
506
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | С.В. Лисицын, В.А. Тарала, К.И. Сидоров, А.С. Алтахов 355029, г. Ставрополь, пр. Кулакова 2, корпус 10, ауд. 213. Директор центра коллективного пользования – кандидат физико-математических наук, доцент Лисицын Сергей Викторович, тел. раб.: 7 (8652) 33-0 |
| Ссылка на публикацию в интернете | — |
Аннотация
В работе приведены результаты исследования пленок нитрида алюминия на подложке кремния методами оже - электронной спектрометрии и масс-спектрометрии.
Актуальные проблемы современной науки. 4ая Международная научно-практическая конференция (Алушта, 2015)
Актуальные проблемы современной науки. 4ая Международная научно-практическая конференция (Алушта, 2015)
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.