Установки молекулярно-лучевой эпитаксии

Технология молекулярно-лучевой эпитаксии является ключевой в исследовании и производстве полупроводниковых материалов и устройств. За счет постоянно увеличивающейся потребности в использовании частоты связи и возрастания плотности микросхем, изготовление устройств зависит от точности измерений и контроля качества производства, которые обеспечиваются системами МЛЭ. Установки МЛЭ компании SVTA (США) обеспечивают сверхчистое изготовления широкого спектра тонкопленочных структур для микроэлектроники, оптоэлектроники и магнитных приложений. Все системы оснащены оборудованием и программным обеспечением для отслеживания и контроля параметров критического роста.