Манипуляционные микроробототехнические системы и проблемы производства гибридных МЭМС

Рассматриваются вопросы использования манипуляционных микроробототехнических систем для сборки и корпусирования гибридных микросистем. Описаны основные проблемы производства МЭМС, в которых интегрированы сенсорные, управляющие, исполнительные и информационные функции. Дан краткий анализ современного состояния микросборочных технологий. Обобщены особенности реализации известных микротехнологических систем.