Определение толщины и состава нанопокрытий

Для определения толщины и состава напыления была произведена растровая электронно-ионная микроскопия (ФИП/РЭМ) на двулучевом растровом электронном микроскопе. На образце в месте присутствия напыления с помощью фокусированного ионного пучка (Ga ) производилось формирование поперечного среза ~15х10 мкм и глубиной не менее 5 мкм. Визуализацию поперечного среза проводили средствами растровой электронной микроскопии в режиме вторичных электронов (топологический контраст). Химический анализ проводили методом энергодисперсионной спектроскопии. Этапы проведения исследования и его результаты приведены на рисунках 1-6.