Пробоподготовка с использованием FIB для исследований в области просвечивающей электронной микроскопии

Современная просвечивающая электронная микроскопия высокого разрешения (HRTEM, High-resolution transmission electron microscopy) невозможна без тщательной подготовки образца для последующего анализа. Традиционным способом получения подобного рода образцов является ультрамикротомия - Ультратонкие срезы (10-100 нм) получают с помощью ультрамикротомов, пористые и волокнистые материалы предварительно пропитывают и заливают в эпоксидную смолу. В процессе освоения методов ультрамикротомии могут возникать трудности, которые приводят к артефактам резания, например, невозможности сохранения истинных структурных особенностей образца при приготовлении. Поэтому метод применяется там, где кристаллическая структура не имеет большого значения, например, для изучения волокнистых, полимерных материалов.