Совершенные тонкие пленки нитрида алюминия

14 сентября 2018
296
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации
Ссылка на публикацию в интернете kif.ras.ru/science/progress/201801/

Аннотация

Нитрид алюминия имеет большой потенциал для полупроводниковых технологий будущего.Основным препятствием для его промышленного применения является дороговизна синтеза как объемных кристаллов, так и высококачественных тонких пленок этого соединения. Разработанный научным коллективом ИК РАН передовой метод позволяет решить обе эти проблемы. Суть метода получения тонких пленок AlN состоит в нанесение пленок алюминия на сапфировые подложки и последующем отжиге пленок в атмосфере азота. В работе исследованы различные режимы получения и предложены оптимальные параметры проведения процесса для получения высококачественных пленок нитрида алюминия.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.