Оснастка из карбида кремния для производства БИС и СБИС

Оснастка для изготовления интегральных схем предназначена для эксплуатации в высокотемпературных процессах производства больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных схем (СБИС). Оснастка представляет собой комплект изделий – реактор, бесконтактный носитель, кассеты. По сравнению с известными аналогами (оснастка из кварца) оснастка из карбида кремния обладает следующими преимуществами: резкое снижение диффузии примесей через стенки реактора; возможность повышения рабочей температуры до 1350О С; увеличение срока службы оснастки в 10-15 раз; исключение заклинивания и поломки кремневых пластин вследствие близости коэффициентов термического расширения кремния и карбида кремния; возможность проведения очистки оснастки на любой стадии производства и эксплуатации благодаря высокой коррозийной стойкости и твердости карбида кремния; совместимость карбида кремния со всеми материалами технологического процесса; широкая возможность автоматизации процесса.