Изучение процесса локального зондового окисления тонких пленок титана. Старцева А. В., Максимов А. И.

14 сентября 2018
390
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Тематический материал
Контактные данные автора публикации Котов Владимир, тел.: (499) 110-20-50, e-mail: kotov@ntmdt-si.com
Ссылка на публикацию в интернете moluch.ru/archive/44/5303/

Аннотация

В данной работе был исследован процесс локального анодного окисления тонких пленок титана. Показано, что конфигурация формируемого окисла зависит от величины и длительности прикладываемого напряжения, влажности окружающей среды, силы прижима зонда к поверхности образца и от параметров самого зонда, используемого в процессе окисления. По результатам исследований было выяснено, что пороговое напряжение начала процесса локального окисления титана равно 6 В, высота оксида от величины прикладываемого напряжения зависит линейным образом, а кинетика процесса подчиняется модели Кабрерра-Мотта для больших времен. Ключевые слова: наноразмерная модификация поверхности, локальное анодное окисление зондом атомно-силового микроскопа, тонкие пленки титана
Старцева А. В., Максимов А. И. Изучение процесса локального зондового окисления тонких пленок титана // Молодой ученый. — 2012. — №9. — С. 12-17. — URL https://moluch.ru/archive/44/5303/ (дата обращения: 21.05.2018).
Сканирующий зондовый микроскоп NTEGRA НТ-МДТ
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.