Изучение процесса локального зондового окисления тонких пленок титана. Старцева А. В., Максимов А. И.

В данной работе был исследован процесс локального анодного окисления тонких пленок титана. Показано, что конфигурация формируемого окисла зависит от величины и длительности прикладываемого напряжения, влажности окружающей среды, силы прижима зонда к поверхности образца и от параметров самого зонда, используемого в процессе окисления. По результатам исследований было выяснено, что пороговое напряжение начала процесса локального окисления титана равно 6 В, высота оксида от величины прикладываемого напряжения зависит линейным образом, а кинетика процесса подчиняется модели Кабрерра-Мотта для больших времен. Ключевые слова: наноразмерная модификация поверхности, локальное анодное окисление зондом атомно-силового микроскопа, тонкие пленки титана
Старцева А. В., Максимов А. И. Изучение процесса локального зондового окисления тонких пленок титана // Молодой ученый. — 2012. — №9. — С. 12-17. — URL https://moluch.ru/archive/44/5303/ (дата обращения: 21.05.2018).
Сканирующий зондовый микроскоп NTEGRA НТ-МДТ