МЕТОДЫ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ ДЛЯ НЕРАЗРУШАЮЩЕГО АНАЛИЗА ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СВОЙСТВ НАНОСТРУКТУР. Калинин А.С.

Научная новизна:
1. Разработан новый метод АСМ, прыжковая силовая микроскопия пьезоотклика, позволяющий проводить неразрушающее картирование пьезоэлектрических коэффициентов и вектора поляризации мягких, хрупких и плохозакрепленных образцов одновременно с измерением рельефа, диэлектрических и количественных наномеханических свойств.
2. Предложенным методом впервые проведены неразрушающие измерения пьезоэлектрических свойств и построены карты распределения количественных значений механических свойств пептидных нанотрубок дифенилаланина.
3. Предложенным методом впервые проведены измерения температурной зависимости электромеханических свойств кристалла триглицинсульфата при переходе через точку Кюри непосредственно в процессе измерений.
Практическая значимость работы
1. Разработанный метод неразрушающего анализа электромеханических свойств реализован в аппаратном и программном обеспечении серийно выпускаемых атомно-силовых микроскопов компании НТ-МДТ Спектрум Инструментс.
2. Предложенный метод расширяет применимость атомно-силовой
микроскопии для измерения пьезоотклика на новые классы образцов.
3. Предложенный метод увеличивает производительность атомно-
силовых микроскопов с точки зрения:
- увеличения набора свойств образца, которые могут быть
исследованы одновременно;
- уменьшения временных затрат на исследование температурной
динамики изменения электромеханических свойств образцов;