СРАВНИТЕЛЬНЫЕ АСМ-СТМ ИССЛЕДОВАНИЯ МОРФОЛОГИИ YBACUO ПЛЕНОК РАЗЛИЧНОГО СОСТАВА. Н.В.Востоков, С.В.Гапонов, Б.А.Грибков, Д.В.Мастеров, В.Л.Миронов

Представлены результаты исследований с помощью сканирующего зондового микроскопа особенностей, морфологии поверхности и электрических свойств эпитаксиальных пленок YBa2Cu3O7-x, получаемых магнетронным распылением из мишеней различного катионного состава. Установлено, что в конфигурации 90°off-axis магнетронной системы напыления возможна реализация условий роста, при которых выращиваемые пленки не содержат медьсодержащих преципитатов и имеют высокие, сверхпроводящие свойства (Tc³88 К, Jc(77K)³4·106 А/см2). Показано, что метод сканирующей туннельной микроскопии (СТМ) позволяет получать более детальную по сравнению с методом атомной силовой микроскопии (АСМ) информацию о морфолигии и особенностях роста YBaCuO пленок.
Сканирующий зондовый микроскоп SOLVER НТ-МДТ
атомно-силовой микроскоп, AFM, SPM