Измерение жесткости АСМ кантилевера по спектру тепловых шумов
14 сентября 2018
552
Предметная область | — |
Выходные данные | — |
Ключевые слова | — |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | Котов Владимир, тел.: (499) 110-20-50, e-mail: kotov@ntmdt-si.com |
Ссылка на публикацию в интернете | www.ntmdt-si.com/data/media/files/publications/2013/IFI1073.pdf |
Аннотация
Рассматривается проблема калибровки АСМ кантилевера по спектру тепловых шумов. Реализация этого метода потребовала выполнения большого объема подготовительной работы и учета множества факторов. Использование синхронного детектора позволило снизить требования к измерительной системе и повысить точность определения жесткости. Представлены соответствующие экспериментальные результаты.
Ключевые слова: Интегра, Ntegra, SPM, AFM, probe, cantilever, tip, СЗМ, АСМ
ПодробнееКлючевые слова: Интегра, Ntegra, SPM, AFM, probe, cantilever, tip, СЗМ, АСМ
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.