Измерение жесткости АСМ кантилевера по спектру тепловых шумов

14 сентября 2018
400
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации Котов Владимир, тел.: (499) 110-20-50, e-mail: kotov@ntmdt-si.com
Ссылка на публикацию в интернете www.ntmdt-si.com/data/media/files/publications/2013/IFI1073.pdf

Аннотация

Рассматривается проблема калибровки АСМ кантилевера по спектру тепловых шумов. Реализация этого метода потребовала выполнения большого объема подготовительной работы и учета множества факторов. Использование синхронного детектора позволило снизить требования к измерительной системе и повысить точность определения жесткости. Представлены соответствующие экспериментальные результаты.
Ключевые слова: Интегра, Ntegra, SPM, AFM, probe, cantilever, tip, СЗМ, АСМ
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.