Прибор ЭМГ-20-9 – времяпролетный масс-спектрометр для обнаружения следовых примесей в особо чистых газах

14 сентября 2018
355
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации
Ссылка на публикацию в интернете www.mettek.ru/article/1299235771

Аннотация

Потребности современных технологий требуют точного и оперативного измерения содержания компонент технологических газов и примесей на уровне до 0.1 ppm. Например, для создания газонаполненных панелей требуется получать особо чистый Ne в концентрации 99.9999%.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.