Прибор ЭМГ-20-9 – времяпролетный масс-спектрометр для обнаружения следовых примесей в особо чистых газах
14 сентября 2018
521
| Предметная область | — |
| Выходные данные | — |
| Ключевые слова | — |
| Вид публикации | Статья |
| Контактные данные автора публикации | — |
| Ссылка на публикацию в интернете | www.mettek.ru/article/1299235771 |
Аннотация
Потребности современных технологий требуют точного и оперативного измерения содержания компонент технологических газов и примесей на уровне до 0.1 ppm. Например, для создания газонаполненных панелей требуется получать особо чистый Ne в концентрации 99.9999%.
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.