Об установлении стационарного режима неравновесного электродного СВЧ разряда в азоте и водороде при пониженных давлениях

14 сентября 2018
447
Предметная область
Выходные данные
Ключевые слова
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации
Ссылка на публикацию в интернете bifocompany.com/assets/tpl/img/63 Zvenigorod conferecnce-2009 on UTC.pdf

Аннотация

Проведено экспериментальное и теоретическое исследования процесса возникновения
электродного СВЧ (микроволнового) разряда (ЭМР) в азоте и водороде при пониженных
давлениях Эксперименты велись на установке, детально описанной в [1, 2]. Разрядная
камера представляла собой цилиндр из нержавеющей стали диаметром 150 мм. Через
вакуумный ввод в верхней крышке в камеру была введена цилиндрическая антенна
диаметром 5 мм. Использовался СВЧ генератор Луч-58-1 со стабилизированным источником
анодного напряжения магнетрона (частота 2.45 ГГц, выходная мощность до 180 Вт).
Поглощенная плазмой мощность 5÷50 Вт. Измерения проводились в проточной системе.
Объемный расход газов лежал в диапазоне 0.5÷200 станд. см3
/мин, давление в камере
изменялось в диапазоне 1÷6 Тор. Контроль и управление давлением и расходом газа
осуществлялись с помощью автоматической измерительной системы с регулируемым
вентилем (MKS Instruments). Процесс возникновения ЭМР исследовался с помощью
наносекундных электронно-оптических камер (ЭОК) К-008 и К-011. ЭМР инициировался
высоковольтным искровым разрядником, помещенным в канале электрода-антенны.
Синхроимпульс для запуска ЭОК формировался с помощью фотодиодного датчика.
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.