Отбор проб высокого давления с помощью RGA-100

2 июля 2020
30
Предметная область
Выходные данные сайт ООО "Интермера", июль 2020 года, перевод
Ключевые слова анализатор остаточных газов, пробы высокого давления
Вид публикации Статья
Контактные данные автора публикации Светлана Александровна , (495) 941-04-34, vitalig77@gmail.com
Ссылка на публикацию в интернете intermera.ru/files/docs/RGA-100.pdf

Аннотация

Типы анализа, выполняемые RGA (анализаторами остаточных
газов), полезны во многих приложениях, помимо вакуумных
систем. Но RGA, по своей сути, является вакуумным прибо-
ром, который работает лучше всего при 10-6 мбар. Выше 10 -5
отклик становится нелинейным, а выше 10 -4 нить накала от-
ключается управляющей электроникой. Для отбора проб газов
при более высоких давлениях необходима система снижения
давления. Эти системы в основном представляют собой огра-
ничитель и пакет вакуумных насосов. Общими ограничениями
являются отверстия и капилляры, которые могут обеспечить
снижение давления более чем на шесть порядков. Пакет ваку-
умных насосов состоит из турбомолекулярного насоса и фор-
вакуумного насоса. В дополнение к достижению желаемого
снижения давления, конструкция системы должна обеспечи-
вать быструю реакцию и высокое отношение сигнал/фон.
При давлениях, характерных для вакуумных процессов, под-
ходит простая система снижения давления на основе диа-
фрагмы. При атмосферном и более высоком давлении исполь-
зуется двухступенчатая система редукции на основе капил-
ляра и диафрагмы. Эти две системы будут использованы для
иллюстрации конструкции систем снижения давления для
RGA
Подробнее
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.