Предметная область | |
Выходные данные | сайт ООО "Интермера", июль 2020 года, перевод |
Ключевые слова | анализатор остаточных газов, пробы высокого давления |
Вид публикации | Статья |
Контактные данные автора публикации | Светлана Александровна , (495) 941-04-34, vitalig77@gmail.com |
Ссылка на публикацию в интернете | intermera.ru/files/docs/RGA-100.pdf |
Аннотация
Типы анализа, выполняемые RGA (анализаторами остаточных
газов), полезны во многих приложениях, помимо вакуумных
систем. Но RGA, по своей сути, является вакуумным прибо-
ром, который работает лучше всего при 10-6 мбар. Выше 10 -5
отклик становится нелинейным, а выше 10 -4 нить накала от-
ключается управляющей электроникой. Для отбора проб газов
при более высоких давлениях необходима система снижения
давления. Эти системы в основном представляют собой огра-
ничитель и пакет вакуумных насосов. Общими ограничениями
являются отверстия и капилляры, которые могут обеспечить
снижение давления более чем на шесть порядков. Пакет ваку-
умных насосов состоит из турбомолекулярного насоса и фор-
вакуумного насоса. В дополнение к достижению желаемого
снижения давления, конструкция системы должна обеспечи-
вать быструю реакцию и высокое отношение сигнал/фон.
При давлениях, характерных для вакуумных процессов, под-
ходит простая система снижения давления на основе диа-
фрагмы. При атмосферном и более высоком давлении исполь-
зуется двухступенчатая система редукции на основе капил-
ляра и диафрагмы. Эти две системы будут использованы для
иллюстрации конструкции систем снижения давления для
RGA
Подробнеегазов), полезны во многих приложениях, помимо вакуумных
систем. Но RGA, по своей сути, является вакуумным прибо-
ром, который работает лучше всего при 10-6 мбар. Выше 10 -5
отклик становится нелинейным, а выше 10 -4 нить накала от-
ключается управляющей электроникой. Для отбора проб газов
при более высоких давлениях необходима система снижения
давления. Эти системы в основном представляют собой огра-
ничитель и пакет вакуумных насосов. Общими ограничениями
являются отверстия и капилляры, которые могут обеспечить
снижение давления более чем на шесть порядков. Пакет ваку-
умных насосов состоит из турбомолекулярного насоса и фор-
вакуумного насоса. В дополнение к достижению желаемого
снижения давления, конструкция системы должна обеспечи-
вать быструю реакцию и высокое отношение сигнал/фон.
При давлениях, характерных для вакуумных процессов, под-
ходит простая система снижения давления на основе диа-
фрагмы. При атмосферном и более высоком давлении исполь-
зуется двухступенчатая система редукции на основе капил-
ляра и диафрагмы. Эти две системы будут использованы для
иллюстрации конструкции систем снижения давления для
RGA
Для того чтобы оставить комментарий необходимо авторизоваться.